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第177章 国产DUV光源

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这位青年工程师有些语无伦次,其他研发人员和工程师亦是如此。

整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。

大夏企业自己的光源设备!

他们等这一天多久了?

有浦东微电子的老工程师不自觉擦起了眼泪。

男儿有泪不轻弹,只是未到伤心处。

这群投身国产半导体行业的老人们更是感触颇深。

他们当年搞这个的时候……

“造不如买、造出垃圾来卖得又贵,国产不好用。

国产毛病多,你们别做了,还是买德国的光源吧!

搞个光刻机净坑自己人!”

一句句往日刁钻刻薄的话此刻在耳边回响,再看看现在那台光刻机。

“终于有好光源了。”

赵教授摘下眼镜,擦了又擦眼角的泪水,他身旁助理此刻也是以泪洗面。

顾青抿着嘴,摇了摇头。

虽然了解过大夏半导体科研的困难,但他还是低估了当年舆论环境和经济环境对这些科研人员的伤害。

是啊,国外有成熟高端的技术,只需要花钱买,就能享受到完美的服务。

国内还有一群榆木疙瘩,到处求人拉赞助,抠抠搜搜攒钱做实验做开发,好不容易做出点成果,因为没有经过市场适配和反馈升级,有瑕疵。

然后就是铺天盖地的辱骂贬低,甚至“国产高科技产品”被舆论批评成为了“伪劣产品”。

德国货、霓虹货、美版就是好。

而浦东微电子硬是扛着这些流言蜚语,一路埋头苦干,直到现在能量产90纳米的光刻机。

公开资料中描述用的的arf光源193纳米。

这说明如果有更好的光源,光刻机精度将会很快得到提升。

“你不知道啊,核心部件大功率激光器,需要稳定可控达到2万以上的激光。这种激光器的组件只有德国和美利-坚可以供应。

我们在这一领域和他们差距巨大。因为没有需求,所以几乎没有一家公司能够提供相应的部件。

后来哈工大的老庄替我们牵线,和他们合作后,也不得不选择功率难以提高但不需要大功率激光器的dpp方案作为切入点。

你们公司这个项目做得真的好,真的好。”

赵教授没有问顾青,这个光源是不是用的国外的,像当年那个畜生一样买个成品来骗他们。

因为这种新技术光源,别说成品了,现在论文都没几篇,他们能到哪儿买?

倒是顾青听到老庄这个词,下意识问了一句:“赵教授您说的是哈工大的庄友伟教授?”

赵兴夏这时才戴好眼镜,点了点头。

“就是他,我们这里还有几位是他介绍过来的哈工大学生。”

顾青拍了拍手。

“这不是缘分吗?我和庄教授关系也不错,我们公司的仿生机械假肢项目也有哈工大的学生。”

两人由着这个话题聊了起来,颇有些忘年交的意思。

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